德国KNF 的N86KTE,N86KNE 两种隔膜式真空泵广泛应用于CEMS 系统上，国内80%以上CEMS均采用以上两种泵。N86KTE 泵膜采用耐腐蚀泵膜，寿命更长。另外德国SP 公司的SPV-700 隔膜式真空泵也广泛用于CEMS 系统上。

一、技术特点：

1、无污染传输，无油，免维护

2、可以24小时连续运转

3、可以任意方向安装

4、低能耗

5、气密性高，低噪音，低震动

6.尺寸小，重量轻，性能高

二、技术参数：

抽气量：6l/min

转速：1420rpm

真空度：100mbar

输出压力：0.5bar

电压：220VAC/0.6A50HZ

功率：60W

电机：230VAC/50Hz 0.3A